Die Singulus Technologies AG hat von der Azur Space Solar Power GmbH einen Auftrag für eine neu entwickelte PECVD-Beschichtungsanlage erhalten, die für Prozesse bei der Herstellung von GaAs-Solarzellen verwendet wird. Bei der PECVD-Beschichtungstechnik, also bei der plasmaunterstützten chemischen Gasphasenabscheidung, setzt Singulus auf die ICP-Technik. Dem Unternehmen zufolge bietet dieses induktiv gekoppelte Plasma eine hohe Elektronendichte mit einer zugleich großen Plasmareinheit. Auf Basis dieser Technologie habe Singulus eine neue Plasmaquelle entwickelt, um in der Beschichtungsanlage sogenannte dielektrische Schichten auf das Ausgangsmaterial der GaAs-Solarzellen aufzubringen. Singulus zufolge ist der PECVD-Beschichtungsschritt ein sehr entscheidender Schritt für die Qualität von GaAs-Solarzellen.
GaAs-Solarzellen haben einen besonders hohen Wirkungsgrad von über 30 Prozent und werden in der Raumfahrt für die Energieerzeugung bei Satelliten eingesetzt. Azur Space mit Sitz in Heilbronn ist laut Singulus der internationale Marktführer und ein Global Player bei der Entwicklung und Produktion von Mehrfachsolarzellen für Weltraum-Photovoltaik und terrestrische CPV-Anwendungen. Das Unternehmen setze die PECVD-Beschichtungsanlage für die Herstellung von GaAs-Solarzellen für Anwendungen im Weltraum ein.
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