Wafer sortieren und analysieren

Der Metrology Sorter von Schmid ist eine Wafer-Sortieranlage, die sich laut Unternehmen auch für diamantdrahtgesägte Wafer und Quasimono-Wafer eignet. Eine eigens entwickelte Analysesoftware für Thickness, Total Thickness Variation und Roughness der Wafer biete Herstellern einen Wettbewerbsvorteil gegenüber anderen Sortieranlagen. Die Software erfasst die Messdaten aller fertigen Wafer in einem 3D-Block. Aus den gesammelten Informationen lassen sich dann im Störfall bestimmte Maßnahmen in den vorgelagerten Produktionsstufen ableiten. Die Oberflächenrauigkeitsverteilung auf einem Wafer sowie die Verteilung aller Wafer im gesamten Block werden von der Software ebenfalls grafisch dargestellt.

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Stand: A6.490