Berührungslose Inspektion

Das Unternehmen Intego stellt auf der Intersolar sein Inspektionssystem Antaris zur Mikrorisserkennung in Wafer und Zellen vor. Laut Hersteller werden bei diesem System die Aufnahmen der Mikrorisse nicht durch Korngrenzen oder andere Strukturen verschlechtert, wie es bei Elektro- und Photolumineszenz-Bildern der Fall sei. Das berührungslos arbeitende Inspektionssystem erzeuge stattdessen Aufnahmen mit einer Kamera, die eine automatische Fehlererkennung möglich machten. Die Ergebnisse der Prüfung kann der Benutzer am Bildschirm verfolgen und nach Bedarf Systemparameter wie die minimale Defektgröße verändern. Das Prüfsystem ist entweder als Inline-Tool erhältlich, um es zum Beispiel über einem bestehenden Förderband zu installieren, oder als Einzelsystem, das zudem die defekten Teile aussortieren kann. Das Inspektionssystem kann mono- und polykristalline Wafer und Zellen mit einer Größe von 156 mal 156 Millimetern und einer Dicke von 120 bis zu 300 Mikrometer überprüfen. Dabei hat es eine Zykluszeit von bis zu einer Sekunde pro Zelle.