Produktivere Siliziumherstellung

Die Firma Centrotherm stellt einen neuen Reaktor zur Herstellung hochreinen Siliziums her. Der 24 Pair CVD-Reaktor scheidet Silizium aus dem Prozessgas Trichlorsilan entsprechend dem Siemensprozess an Stäben aus Reinstsilizium ab. Er ist das Nachfolgermodell des 18 Pair CVD-Reaktors. Das neue Modell enthält unter anderem mehr Stäbe. Es habe die doppelte Produktionskapazität (350 Tonnen/Jahr). Gleichzeitig sinke der Energieverbrauch pro Kilogramm Silizium um mehr als zehn Prozent. Dazu gibt es auch einen neuen Konverter mit höherem Durchsatz. Er wandelt das im Siemensprozess entstehende Siliziumtetrachlorid in Trichlorsilan um, damit es dem Reaktor erneut zugeführt werden kann und das im Gas gebundene Silizium nicht verloren geht. Centrotherm garantiert 19 Prozent Konversionsrate.