Neue Generation Schleifmaschinen

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Die Firma Arnold kündigt eine neue Generation von Hochleistungsschleifmaschinen zur Bearbeitung von Siliziumblöcken an und stellt das erste Modell vor, das sowohl Oberflächen als auch Fasen, die schrägen Flächen an den Kanten, schleifen kann. Das Gerät mit der Typenbezeichnung 72/865 ist für die Verarbeitung kleiner und mittlerer Produktionskapazitäten von Siliziumblöcken gedacht, die aus den Ingots geschnitten und für die Waferproduktion genutzt werden. Bei dem Gerät ist der Prozessteil des Maschinenbetts mit Mineralguss ausgegossen. Das führe zu einer um den Faktor zehn verbesserten Maschinensteifheit und zu einer hohen Dämpfung. Das Kühlwasser werde mit einem Druck von 25 Bar zugeführt. Dadurch sei die Prozesskühlung sehr gut und der Wasserverbrauch relativ gering. Die Verbesserungen würden die Prozesssicherheit erhöhen, die Bearbeitungszeiten verkürzen und eine präzise Fertigung der Blöcke ermöglichen.

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