Teure Gase für hauchfeine Schichten
Triple Green Teil 3: Dünnschichtmodule aus Silizium werden mit Prozessgasen hergestellt, die klimaschädlich, giftig oder explosiv sind. Die Gaslieferanten suchen nach Ersatz. Um die Kosten zu senken, setzen die Hersteller ihre Produktionslinien auf Diät. Das nutzt auch der Umwelt.
Wie ein Torpedo liegt die Stahlflasche im warmen Wasser. Geräuschlos strömt das Gas aus der Abfüllstation in sie hinein. Kein Zischen, kein Nebel, nur ein leises, metallisches Vibrieren im Innern des Tanks, als Klaus Bomhard das Ventil öffnet. „Alles dicht“, befindet der Leiter des Füllwerkes von Linde Gas in Unterschleißheim bei München. Das ist wichtig, …
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