NexPower bestellt High-Tech-Anlage Phoebus von Leybold Optics

NexPower Technology Corporation gilt als Pionier der taiwanesischen Photovoltaik-Dünnfilmindustrie. Knapp ein Jahr nach den ersten Gesprächen mit dem weltweit agierenden Hersteller von Vakuumtechnologien Leybold Optics, erteilte NexPower den Auftrag für das neue System Phoebus. Mit dieser wegweisenden Anlage des deutschen Anbieters aus Alzenau/Frankfurt, wird modernste Technologie für die besonderen Anforderungen der Produktion von Siliziumdünnschicht-Solarzellen bereitgestellt. Das Beschichtungssystem Phoebus arbeitet mit der plasmaunterstützten chemischen Gasphasenabscheidung (PECVD = Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition). Die PECVD-Reaktoren erreichen die gewünschten Materialqualitäten des amorphen und mikrokristallinen Siliziums mit hoher Schichtgleichmässigkeit bei gleichzeitig niedrigen Produktionskosten.

Phoebus basiert auf einem linearen Cluster-Ansatz, Carrier-freien und vertikalen Substrattransport. Einfach- oder Tandemzellen jeweils in gleich bleibender Qualität. Dabei werden TCO-beschichtete Glassubstrate – „Transparente und leitfähige Oxide“, beispielsweise Zinkoxidfilme – thermisch vorkonditioniert und von Robotern durch eine vertikale Schleuse in das Vakuum überführt. Einfache Dünnfilm-Zellen (a-Si) durchlaufen drei Beschichtungskammern, Tandemzellen (a-Si/µc-Si) benötigen sechs Stufen und werden dabei ebenfalls im Vakuum gehalten. Während des gesamten Prozesses werden die Glassubstrate in den Beschichtungskammern und auf den Transportrobotern auf einem gleich bleibenden und stabilem Temperaturniveau gehalten. Nach Abschluss des Beschichtungsvorganges werden die Glassubstrate nach einem aktiven Abkühlungsprozess ausgeschleust. Pro Absorberschicht wird jeweils eine Prozesskammer benutzt. Dadurch wird kompromisslose Qualität sichergestellt und jegliche Querverunreinigung verhindert.

Das Carrier-freie Konzept inklusive der In-sitsu-Reinigung wirken sich positiv auf die Total Cost of Ownership (TCO) aus. Für unterschiedlichste, höchstpräzise Handhabungsaufgaben innerhalb der Anlage werden hochwertige Industrieroboter eingesetzt. Zunächst wurde von NexPower eine Anlage Phoebus bestellt, um Kapazitäten für die erste Ausbaustufe zur Produktion von Tandemzellen zu schaffen. Der Upgrade von Einzelzellen auf Tandemzellen ist durch diese Erweiterung möglich. Die vorhandenen Produktionsanlagen von NexPower werden weiterhin genutzt, mit Phoebus gelingt nun der einfache Umstieg auf Tandemzellen. Waren bisherige Dünnschichtzellen lediglich mit einer Schicht aus amorphem Silizium versehen, erhalten Tandemzellen eine zweite Schicht aus mikrokristallinem Silizium. Diese Anordnung nützt die Energie des Sonnenlichts wesentlich effizienter aus. Das gesamte Spektrum des Lichts vom violetten bis zum Infrarotbereich wird nahezu komplett zur Stromerzeugung genutzt.

Im Testlauf von Phoebus wurde die Energie-Effizienzquote der Tandemzellen von mindestens 10 Prozent dauerhaft erreicht. Phoebus ist in der Lage, unter anderem Substrate in der Grösse von 1,1 x 1,4 Meter zu verarbeiten. Mit Blick auf das hohe Investment, das NexPower in die Produktion von Tandemzellen tätigen wird, sind die Anforderungen an die neue Produktionsanlage sehr hoch. Bereits in der Testphase überzeugte Phoebus durch die gelieferte hohe Qualität, Prozessstabilität, Produktivität für die µc-Si-PIN-Schichten.

Unter Kurt Hakansson, dem soeben bestellten Vorsitzenden der Geschäftsführung von Leybold Optics, wird sich das Unternehmen noch intensiver mit innovativen Lösungen für den Zukunftsmarkt Photovoltaik befassen. Der Auftrag von NexPower unterstreicht das strategische Ziel von Leybold Optics, sich weitere Märkte im asiatischen Markt zu erschliessen. Know-how und Qualität „Made in Germany“ ist aus Sicht von Leybold Optics gerade im Photovoltaik-Bereich nicht wegzudenken.

Kurzprofil Leybold Optics GmbH:

Leybold Optics GmbH, vor 150 Jahren in Deutschland gegründet, zählt zu den weltweit führenden Anbietern von Vakuumtechnologie und entwickelt Prozesse für anspruchsvolle High-End-Beschich-tungen. Die Verfahrenstechniken konzentrieren sich auf die Fertigungsbereiche 3D-Coating/Web (Scheinwerfer), Display/Glass (Flachbildschirme), Optics (Brillen), Solar (Dünnfilm) und Special Systems (Spezialspiegel). Den Grundstein des Erfolges legten der Gründer Ernst Leybold und dessen Partner Wilhelm Carl Heraeus. Ihr Pioniergeist in der Recherche und Entwicklung neuer Herstellungsverfahren spiegelt sich in den Marktstandards wider, die seit Gründung des Unternehmens international anerkannt sind. Leybold Optics – Innovation und Qualität aus Tradition – ist weltweit in dreizehn Ländern vertreten. Kurzprofil NexPower Technology Corporation: NexPower wurde von dem weltweit führenden, taiwanesischen Anbieter im Bereich IC Foundry United Microelectronics Corporation (UMC) in Taichung County, Taiwan, gegründet. Seit 2005 sieht sich NexPower als Pionier der Dünnfilmindustrie in Taiwan. Das Expertenteam von NexPower deckt alle erforderlichen Bereiche wie Produkt-Entwicklung, R&D und Herstellung von Produkten für die Photovoltaik-Industrie ab. Innerhalb von 18 Monaten wurden bis zu 100 MW verladen. Zudem ist es NexPower gelungen, als erstes taiwanesisches Unternehmen erfolgreich Dünnfilm in Gross-Serie zu produzieren. Alle Produkte sind nach IEC 61646 und UL 1703 zertifiziert. NexPower zählt mittlerweile weltweit zu den qualitativ hochwertigen Dünnfilm-Herstellern im Photovoltaik-Bereich.

Unternehmenskontakt:

Leybold Optics GmbH

Jörg Hahn

Director Sales & Marketing Solar

Siemensstraße 88

63755 Alzenau

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