Neue Prozessanlagen für Hocheffizienzzellen

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Das Unternehmen Coherent stellt zwei neue Photovoltaik-Prozessanlagen für die Solarzellen-Herstellung mit kristallinen Silizium vor: den Aethon und den Equinox. Beide erleichtern nach Aussage von Coherent den Einsatz von Laserprozessen in der Produktion von Hocheffizienzzellen.

Die Aethon-Plattform ist für die frühen Stadien in der Forschung und Entwicklung vorgesehen, in denen eine Reihe von laserbasierten Prozessen ausgewertet werden. Er hat einen Hochgeschwindigkeits-Scanner, kann Wafer softwaregesteuert positionieren und ist mit einem Fehlerdiagnoseprogramm ausgestattet.

Der Equinox wurde für einen hohen Durchsatz entwickelt und wird in zwei Versionen angeboten. Der Equinox-Pilot wird mit einem Wafer Be- und Entladedrehtisch bestückt und eignet sich Coherent zufolge besonders für die Qualifizierung von Laser basierenden Prozessen bevor diese in die komplette Produktionslinie eingebettet werden. Der Equinox-Fab wurde für die Produktion von bis zu mehreren tausend Wafern pro Stunde gebaut. Je nach Anforderung kann er entweder mit einem Drehtisch oder mit einem horizontalen Förderband ausgestattet werden. (Michael Fuhs)