Roth & Rau modularisiert seine Sina-Anlage zur Herstellung der Antireflex-Beschichtung, die es schon länger gibt. Sie besteht in der Grundausführung aus fünf Modulen, dem Einschleusemodul, dem Vorheizmodul, dem Prozessmodul, dem Abkühlmodul und dem Ausschleusmodul. Die neue Bauweise hat laut Firmenaussage einige Vorteile. Sie erlaube einen höheren Durchsatz, der von 30 bis 100 Megawatt skalierbar ist. Die Betriebskosten und der Platzbedarf sänken, ebenso der Wartungsaufwand. Das Gerät arbeitet wie das Vorgängermodell In-Line, wobei der Wafertransport auf Carriern erfolgt, die in den Größen ein mal ein Meter und ein mal 1,86 Meter zur Verfügung stehen. Die Prozesskammern – zwei Typen mit vier oder mit sechs Kammern – ermöglichen die gleichzeitige Beschichtung von oben und von unten.
Durch die Integration aller Steuerelemente in die Anlage fallen zusätzliche elektrische Racks zukünftig weg und der Platzbedarf wird deutlich verringert.
Halle A3, Stand 350
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