Fraunhofer-Forscher und Partner ermitteln Quellen für Verunreinigungen multikristalliner Siliziumblöcke
Dem Forschungsprojekt von Fraunhofer IISB, Wacker Chemie und AlzChem zufolge geraten vor allem über die Quarzguttiegel-Beschichtung unerwünschte Metalle in das Silizium. In den Tiegeln wird Silizium geschmolzen. Diese Erkenntnisse erlauben Herstellern Vorhersagen zur Qualität von Siliziumblöcken in Abhängigkeit von den Prozesshilfsstoffen.
